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申请/专利权人：中国科学技术大学
摘要：本发明公开一种粒子加速器用的真空管批量镀膜装置及其使用方法，镀膜装置包括上腔体、下腔体、待镀膜真空管、上连接机构、重锤机构、螺线管电磁铁和磁铁安装底座，上腔体与下腔体之间设有多根待镀膜真空管，各待镀膜真空管的上、下端分别通过上连接机构、重锤机构与上、下腔体连接，多根待镀膜真空管的外周设有螺线管电磁铁，螺线管电磁铁的底部设于磁铁安装底座中；其使用方法是先将各待镀膜真空管逐一安装，并进行检漏和抽真空，形成一体式的多镀膜通道机构，然后通过行车吊装于螺线管电磁铁中，形成整体式的真空管批量镀膜装置，再整体进行检漏和抽真空处理。本发明可实现对多根真空管进行批量镀膜，实现高效、稳定的真空管NEG镀膜处理。
主权项：1.一种粒子加速器用的真空管批量镀膜装置，其特征在于，包括上腔体、下腔体、待镀膜真空管、上连接机构、重锤机构、螺线管电磁铁和磁铁安装底座，上腔体与下腔体之间设有多根待镀膜真空管，各待镀膜真空管的上端通过上连接机构与上腔体连接，各待镀膜真空管的下端通过重锤机构与下腔体连接，多根待镀膜真空管的外周设有螺线管电磁铁，螺线管电磁铁的底部设于磁铁安装底座中。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国科学技术大学 粒子加速器用的真空管批量镀膜装置及其使用方法
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