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申请/专利权人:四川省海创电气有限责任公司
摘要:本发明公开了一种低温真空镀膜设备及镀膜方法,涉及真空镀膜技术领域,包括镀膜仓,所述连接盘的底部设置有交替支撑件,所述侧连架上设置有导流扩散件。本发明通过设置交替支撑件,当电机进行运作时会带动连接盘进行转动,以此来使竖直连板沿着定位轴进行转动,此时从转齿轮便会在沿着定位轴圆心进行公转时在主转齿轮的作用下进行自转,以此来使往复丝杆相对连位框架进行转动,此时活动滑块便会带动活动支撑架进行上下往复移动,使得活动支撑架、定位支撑架对工件进行交替支撑,如此便可对工件的不同位置进行支撑,防止在镀膜过程中出现镀膜死角,如此便可对工件进行全方位镀膜,减少了镀膜次数,同时也提高了镀膜效果。
主权项:1.一种低温真空镀膜设备,包括镀膜仓(1),其特征在于,所述镀膜仓(1)的顶部安装有真空泵(5),所述镀膜仓(1)的一端安装有仓门(2),所述仓门(2)上设置有观察窗(3),所述镀膜仓(1)的内壁底部安装有蒸发仓(4),所述镀膜仓(1)的内壁顶部安装有位于蒸发仓(4)上方的连接仓(602),所述连接仓(602)的内部安装有电机(605),所述电机(605)的输出端连接有位于连接仓(602)下方的连接盘(606),所述连接盘(606)的底部设置有交替支撑件,所述连接盘(606)通过交替支撑件连接有定位支撑架(617),所述镀膜仓(1)的内壁安装有位于蒸发仓(4)一侧的侧连架(609),所述侧连架(609)上设置有导流扩散件;所述交替支撑件包括有安装于连接盘(606)底部且沿着连接盘(606)圆心等距离分布的三个竖直连板(611),定位支撑架(617)通过螺栓安装于竖直连板(611)上,所述竖直连板(611)上开设有限位槽(619),所述镀膜仓(1)的内壁安装有位于蒸发仓(4)上方且位于竖直连板(611)下方的支撑架(601),所述支撑架(601)的顶部安装有位于连接盘(606)下方的定位轴(608),所述竖直连板(611)靠近定位轴(608)的一侧安装有连位框架(623),所述连位框架(623)的内侧通过转轴转动连接有往复丝杆(624),所述往复丝杆(624)的顶端安装有从转齿轮(622),所述定位轴(608)上设置有与从转齿轮(622)相啮合的主转齿轮(621),所述往复丝杆(624)上活动套设有贯穿限位槽(619)的活动滑块(625),所述活动滑块(625)远离往复丝杆(624)的一端安装有位于定位支撑架(617)下方的活动支撑架(618)。
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