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申请/专利权人：中国计量科学研究院

摘要：本发明公开一种基于共谐振腔耦合式调频法珀干涉的位移测量装置和方法，包括：双频激光器、光隔离器、光准直器、第一偏振分光棱镜、第一平面反射镜、第二偏振分光棱镜、四分之一波片、第二平面反射镜、第一谐振平面反射镜、第二谐振平面反射镜、角锥棱镜、第三偏振分光棱镜、第一光电信号接收器、第二光电信号接收器、被测位移传感器、测量板、信号解调模块、数据处理模块、微动位移台、第一电光调制器、第二电光调制器。采用本发明的技术方案，通过调整两路激光的频率，能够以亚皮米级分辨力对位移量进行测量，并可作为更高等级的位移计量标准对其它测量仪器进行计量检测。

主权项：1.一种基于共谐振腔耦合式调频法珀干涉的位移测量装置，其特征在于，包括：双频激光器、光隔离器、光准直器、第一偏振分光棱镜、第一平面反射镜、第二偏振分光棱镜、四分之一波片、第二平面反射镜、第一谐振平面反射镜、第二谐振平面反射镜、角锥棱镜、第三偏振分光棱镜、第一光电信号接收器、第二光电信号接收器、被测位移传感器、信号解调模块、数据处理模块、微动位移台、测量板、第一电光调制器、第二电光调制器；其中，双频激光器发出两路正交线偏振光，经光隔离器、光准直器、第一电光调制器后在第一偏振分光棱镜处分为主透射光与主反射光；主透射光经过第二偏振分光棱镜后第一次穿过四分之一波片，然后由第二平面反射镜反射至第一谐振平面反射镜与角锥棱镜组成的第一法珀腔中，在第一法珀腔中发生多光束干涉；第一透射干涉光被第二平面发射镜反射后第二次经过四分之一波片后偏振方向旋转了90°，由第一光电信号接收器进行采集；第一反射干涉光被第一谐振平面反射镜反射后按原光路返回，第二次经过四分之一波片，其偏振方向旋转了90°，被第二偏振分光棱镜的分光面反射，射向第三偏振分光棱镜；主反射光经过第一光学反射面后射向第二电光调制器，然后第一次穿过四分之一波片，然后由第二平面反射镜反射至中间挖空的第二谐振平面反射镜与角锥棱镜组成的第二法珀腔中，在第二法珀腔中发生多光束干涉；第二透射干涉光被第二平面发射镜反射后第二次经过四分之一波片后偏振方向旋转了90°，射向第三偏振分光棱镜；第三偏振分光棱镜对进入的第一反射干涉光与第二透射干涉光进行合束后输出耦合干涉光，由第二光电信号接收器完成采集。

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