龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：北京遥测技术研究所
摘要：本发明提供一种基于法珀干涉原理的光学芯片厚度测量方法及装置，包括辅助光源，光连接的光源、光纤环形器，与辅助光源、光纤环形器均光连接的分光器，与分光器母端光连接的光束准直器，设置在光束准直器输出端的待测芯片，盛放待测芯片的三维微动平台和与光纤环形器另一端的测试装置；利用法‑珀干涉原理作为测量原理，通过光纤进行光信号的传输，通过加入1*2分光器引入红光，实现可见光辅助调节的功能，加快芯片的位置调节速度，实现对于透明芯片的厚度进行快速测量的目的。本发明可实现小型化，且成本较低、速度很快；使用者可以根据光束照射点位明确测点位置，同时可见光也为反射光进入准直器提供了可视化手段。
主权项：1.一种基于法珀干涉原理的光学芯片厚度测量方法，其特征在于：包括以下步骤：S1、搭建基于法珀干涉原理的光学芯片厚度测量装置，将分光器4的子端分别与辅助光源1、光纤环形器3的一个端口建立光连接，所述光纤环形器3的另一个端口与光源2建立光连接，将所述分光器4的母端与光束准直器5建立光连接，所述光纤环形器3的第三个端口与测试装置8建立光连接，所述辅助光源1为可见光光源，所述光源2为宽带激光器，所述测试装置8包括解调装置；S2、将待测芯片6放置在三维微动平台7上、位于所述光束准直器5的下端，所述待测芯片6为上下表面均可发生光学反射的透明芯片；S3、将所述辅助光源1打开，辅助光经由所述分光器4、所述光束准直器5输出至所述待测芯片6，通过调节所述三维微动平台7调整所述待测芯片6的位置以使经由所述待测芯片6反射后的辅助光进入所述光束准直器5中；S4、打开所述光源2，所述光源2的输出光依次经所述光纤环形器3、所述分光器4进入所述光束准直器5经准直后射向所述待测芯片6，所述待测芯片6反射后再依次经由所述光束准直器5、所述分光器4、所述光纤环形器3输出至所述测试装置8，所述测试装置8使用双光束干涉的解调得到EFPI传感器反射光谱，再进行傅里叶变化后得到EFPI腔长d，结合所述待测芯片6的折射率n得到所述待测芯片6的厚度D： 一种基于法珀干涉原理的光学芯片厚度测量方法完成。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京遥测技术研究所 一种基于法珀干涉原理的光学芯片厚度测量方法及装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号