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申请/专利权人：电子科技大学
摘要：本发明公开了一种基于相似度处理的高精度白光干涉测量技术，本发明利用白光干涉信号的先验知识，在已知白光光源的参数、高精度位移台步进参数后，可以设置两个取样窗口，对两个取样窗口的信号进行相似度处理，从而将白光干涉信号分为有用信号、噪声信号两部分，对噪声部分填充有用信号的均值，达到滤除噪声的效果。本发明主要包括：干涉成像装置、高精度位移台、CCD相机、白光干涉信号处理模块。本发明相较于传统的白光干涉仪无需额外的成像装置，对比传统的白光干涉信号处理方法，在处理效果上提升了1.4倍，在处理时效上提升了1.2倍。
主权项：1.一种基于相似度处理的高精度白光干涉测量技术，其特征在于：干涉成像装置、CCD相机、高精度位移台、白光干涉信号处理模块。高精度位移台可实现待测样品处在干涉成像装置光轴方向上的不同位置，CCD相机借助干涉成像装置可获得待测样品在光轴方向上不同位置的干涉图像；白光干涉信号处理模块通过一系列干涉图像，结合干涉成像装置的光学参数和高精度位移台的扫描参数进行融合处理，获得待测样品表面形貌的高精度轮廓。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 电子科技大学 一种基于相似度处理的高精度白光干涉测量技术
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