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申请/专利权人：西安交通大学
摘要：本发明公开了一种基于相移干涉和移动差分的晶圆缺陷检测方法，采集被测晶圆在单视场下的相移干涉图片，并完成晶圆表面的三维形貌数据恢复；通过水平位移台按一定的步长微动扫描样品，对样品进行多次重复测量，使用相邻两次测量结果做二阶差分，然后对多次二阶差分结果按照顺序剪裁叠加，使晶圆表面缺陷形成特定模式的三极图案；通过频域高通滤波以及图像形态学操作等图像处理方法实现缺陷三极图案的检出和标记。相比于其他晶圆缺陷检测方法，本发明检测灵敏度高，能够对小于光学分辨率尺度的缺陷进行准确识别，且能对缺陷的凹凸状态进行分类判断，该方法适用于晶圆以及透明或不透明光学元件的表面缺陷检出，特别是图形化晶圆的缺陷检测。
主权项：1.一种基于相移干涉和移动差分的晶圆缺陷检测方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤一，将被测晶圆放置在光学相移干涉显微装置下并调整位置，使视场内出现1～2个完整周期的干涉条纹，在被测晶圆高度方向采集多张相移干涉图像得到一个相移干涉图像集；步骤二，对相移干涉图像集进行处理，完成单视场下的被测晶圆表面的三维形貌计算；步骤三，按水平微动步进距离Δs沿水平X方向微动被测晶圆，然后重复步骤一和步骤二采集N个不同视场下的相移干涉图像集，并完成N个视场下的被测晶圆表面的三维形貌计算；步骤四，将相邻的3个视场下被测晶圆表面的三维形貌计算结果划分为1组数据，依次对每组数据进行二阶差分计算，共得到N-2个二阶差分结果并将其记为tn；根据tn的计算顺序和Δs对所述N-2个二阶差分结果进行剪裁和叠加，得到包含晶圆缺陷三极图案的中间结果A；步骤五，消除中间结果A中存在的残余背景波动，并增强信噪比，得到增强结果C；步骤六，依据增强结果C的背景标准差δC设定由被测晶圆表面缺陷形成的三极图案的中央检测阈值以及两侧检测阈值，结合移动像素数Δd，进行缺陷检测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 一种基于相移干涉和移动差分的晶圆缺陷检测方法
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