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申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：一种对准系统及对准方法，对准系统包括：工作台，所述工作台的上表面设置有图像传感单元；光学单元，位于所述图像传感单元的上方；掩膜板，所述掩膜板包括电路全息图区和掩膜对准标记图区；所述掩膜板位于所述光学单元和所述图像传感单元之间；所述光学单元发出的光适于通过所述掩膜对准标记图区被所述图像传感单元接收。所述对准系统可以精确将掩膜板与图像传感单元对准。
主权项：1.一种对准系统，其特征在于，包括：工作台，所述工作台的上表面设置有图像传感单元；光学单元，位于所述图像传感单元的上方；掩膜板，所述掩膜板包括电路全息图区和掩膜对准标记图区；所述掩膜板位于所述光学单元和所述图像传感单元之间；所述光学单元发出的光适于通过所述掩膜对准标记图区被所述图像传感单元接收。
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百度查询： 光科芯图(北京)科技有限公司 一种对准系统及对准方法
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