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申请/专利权人：光科芯图(北京)科技有限公司
摘要：一种对准系统及对准方法，对准系统包括：工作台，工作台的上表面设置有掩膜对准测量模块，掩膜对准测量模块包括图像传感单元，图像传感单元的入光口设置有基准图形；曝光系统；全息掩膜板，全息掩膜板包括电路全息图区和掩膜对准标记全息图区，全息掩膜板适于在曝光系统和掩膜对准测量模块之间的特征高度位置与工作台进行对准；曝光系统发出的光适于在全息掩膜板与工作台对准过程中至少通过掩膜对准标记全息图区以在图像传感单元的入光口获得掩膜对准标记图形；图像传感单元适于根据从全息掩膜板接收到的光强信息来判断全息掩膜板的对准位置。对准系统可以通过全息掩膜板与工作台上表面设置的掩膜对准测量模块获得全息掩膜板的对准位置。
主权项：1.一种对准系统，其特征在于，包括：工作台，所述工作台的上表面设置有掩膜对准测量模块，所述掩膜对准测量模块包括图像传感单元，所述图像传感单元的入光口设置有基准图形；曝光系统，位于所述工作台的上方；全息掩膜板，所述全息掩膜板包括电路全息图区和掩膜对准标记全息图区，所述全息掩膜板适于在所述曝光系统和所述掩膜对准测量模块之间的特征高度位置与所述工作台进行对准；所述曝光系统发出的光适于在所述全息掩膜板与工作台对准过程中至少通过掩膜对准标记全息图区以在图像传感单元的入光口获得掩膜对准标记图形，所述掩膜对准标记图形与所述基准图形相同且大小一致；所述图像传感单元适于根据从所述全息掩膜板接收到的光强信息来判断所述全息掩膜板的对准位置。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 光科芯图(北京)科技有限公司 一种对准系统及对准方法
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