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申请/专利权人：佳能特机株式会社
摘要：本发明涉及对准装置、对准方法以及成膜装置，能够实现基板与掩模的对准精度的提高。对准装置具备：支承掩模16的掩模台33；支承基板27的静电吸盘25；测定基板27与掩模16的相对位置关系的测定构件；以及基于所述测定构件的测定结果，驱动静电吸盘25，以变更基板27与掩模16的相对位置的磁悬浮载置台2，所述对准装置的特征在于，在掩模16和基板27中的至少任一方设置有凸部，在所述凸部与掩模16和基板27中的另一方接触的状态下，进行所述测定构件的测定和磁悬浮载置台2的驱动动作中的至少任一方。
主权项：1.一种对准装置，所述对准装置具备：掩模支承构件，所述掩模支承构件支承掩模；基板支承构件，所述基板支承构件支承基板；测定构件，所述测定构件测定所述基板与所述掩模的相对位置关系；以及驱动构件，所述驱动构件基于所述测定构件的测定结果，驱动所述掩模支承构件和所述基板支承构件中的至少任一方，以变更所述基板与所述掩模的相对位置，所述对准装置的特征在于，在所述掩模和所述基板中的至少任一方设置有凸部，在所述凸部与所述掩模和所述基板中的另一方接触的状态下，进行所述测定构件的测定和所述驱动构件的驱动动作中的至少任一方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能特机株式会社 对准装置、对准方法以及成膜装置
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