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申请/专利权人：昕芙旎雅有限公司
摘要：晶圆W的检测方法，基于通过从上方对容纳在FOUP7的狭槽SL中的晶圆W进行成像而获得的第一成像数据以及通过从下方对晶圆W进行成像而获得的第二成像数据，来检测晶圆W是否是双晶圆。当晶圆W是双晶圆时，可以考虑上晶圆WA从下晶圆WB突出的状态以及下晶圆WB从上晶圆WA突出的相反状态。在任何状态中，在第一成像数据或第二成像数据中的至少一个中捕获上晶圆WA和下晶圆WB这两者。因此，通过例如基于第一成像数据和第二成像数据执行图像分析，可以针对每个晶圆W准确地检测双晶圆。
主权项：1.一种基板检测方法，包括：基于第一成像数据和第二成像数据，来检测基板的容纳状态，所述第一成像数据通过从第一高度对容纳在容器的狭槽中的所述基板进行成像而获得，所述第二成像数据通过从第二高度对所述基板进行成像而获得。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 昕芙旎雅有限公司 基板检测方法和装载端口
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