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申请/专利权人：朗姆研究公司
摘要：一种用于衬底处理系统所述的喷头，其包含：由金属材料制成的背板和由陶瓷材料制成的面板。该喷头还包含第一冷却板，其配置在该背板和该面板的中心区域之间，以及多个加热器，其配置在该背板和该面板的周边区域之间。
主权项：1.一种用于衬底处理系统的喷头，其包含：由金属材料制成的背板；由陶瓷材料制成的面板；第一冷却板，其配置在所述背板和所述面板的中心区域之间；以及多个加热器，其配置在所述背板和所述面板的周边区域之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 朗姆研究公司 用于高温处理的喷头的主动式温度控制
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