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申请/专利权人：上海诺睿科半导体设备有限公司
摘要：本实用新型涉及一种六自由度调整装置，包括：安装板，其与多个镜头固定连接；连接板，其设置在所述安装板之下，所述连接板的上表面具有凹坑和螺纹孔；多个弹性调节组件，其与所述安装板及所述连接板连接，且被配置为调节安装板整体的高度或安装板的一部分的高度，使得安装板垂直移动或倾斜；多个精密调平座，其穿过所述安装板，并与所述连接板的凹坑耦合，且被配置为调节安装板整体的高度或安装板的一部分的高度，使得安装板垂直移动或倾斜；多个水平调节组件，其设置在所述连接板的两侧，且被配置为调节所述连接板和安装板水平平动或水平旋转；以及镜头切换组件，其设置在连接板的下方，且被配置为移动所述安装板和连接板以切换镜头。
主权项：1.一种六自由度调整装置，其特征在于，包括：安装板，其与多个镜头固定连接；连接板，其设置在所述安装板之下，所述连接板的上表面具有凹坑和螺纹孔；多个弹性调节组件，其与所述安装板及所述连接板连接，且被配置为调节安装板整体的高度或安装板的一部分的高度，使得安装板垂直移动或倾斜；多个精密调平座，其穿过所述安装板，并与所述连接板的凹坑耦合，且被配置为调节安装板整体的高度或安装板的一部分的高度，使得安装板垂直移动或倾斜；多个水平调节组件，其设置在所述连接板的两侧，且被配置为调节所述连接板和安装板水平平动或水平旋转；以及镜头切换组件，其设置在连接板的下方，且被配置为移动所述安装板和连接板以切换镜头。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海诺睿科半导体设备有限公司 一种六自由度调整装置
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