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一种石英晶片的加工方法 

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申请/专利权人:江苏富乐德石英科技有限公司

摘要:本发明提供一种石英晶片的加工方法,石英棒表面贴敷满保护切割膜,再将石英棒放置在切割时的专用切割夹具里;将带有石英棒的专用切割夹具固定在激光切割机上,对石英棒进行切割片处理,喷洒切割液在激光与石英棒的接触处;石英棒经过激光切割成为石英晶片,石英晶片放置在除胶剂里浸泡,在烘干机里进行烘干;烘干后的石英晶片,在石英晶片的整个表面贴敷满研磨保护膜,再将石英晶片放置在研磨机,对石英晶片的表面研磨;将打磨后的石英晶片放置在抛光机里进行抛光处理,抛光处理后使用清洗剂进行清洗,清洗后烘干处理,石英晶片制作完成。本发明加工过程中具有保护能力、使用专用工具便于切割、提高生产效率且成品完成度高、良品率高。

主权项:1.一种石英晶片的加工方法,其特征在于,包括:步骤一:半成品石英棒的整个表面贴敷满保护切割膜,再将石英棒放置在切割时的专用切割夹具里,石英棒的头部、尾部与两侧均用专用切割夹具夹紧,所述步骤一中的保护切割膜为UV膜;步骤二:将带有石英棒的专用切割夹具固定在激光切割机上,对石英棒进行切割片处理,在切割的同时并喷洒切割液在激光与石英棒的接触处;步骤三:石英棒经过激光切割成为石英晶片,将石英晶片放置在除胶剂里浸泡,在烘干机里进行烘干;步骤四:烘干后的石英晶片,在石英晶片的整个表面贴敷满研磨保护膜,再将石英晶片放置在研磨机,对石英晶片的表面研磨5-6分钟,研磨完毕使用除胶剂进行除胶,除胶完毕进行烘干,所述步骤四中的研磨保护膜为UV膜;步骤五:将打磨后的石英晶片放置在抛光机里进行抛光处理,抛光处理后使用清洗剂进行清洗,清洗后烘干处理,石英晶片制作完成,所述步骤五中的烘干时间为10分钟,烘干温度为40-50℃;所述步骤五的清洗剂为浓H2SO4H2O2溶液,使用时先进行1:2倍或1:2.5倍稀释,再加热到50-60℃,清洗时间为5-10分钟。

全文数据:

权利要求:

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