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申请/专利权人：江苏集芯先进材料有限公司
摘要：本实用新型公开了一种晶片载台及工作平台，在载台内限定出多个气体通道，每个气体通道均通过气体管路连接至氦质谱检漏仪的进气口，每个气体通道上方的载台上表面均开设有与气孔，通过气孔对载台上的晶片进行吸附，每个气体管路均连接有气压阀，用于控制每个气体管路内的气体压力，从而控制每个气体通道内的气压，确保每个气体通道内的气压基本相同，通过多个气体通道连通的气孔对晶片进行负压吸附，使得晶片表面受压均匀，避免晶片破损，边缘抽真空效果差。
主权项：1.一种晶片载台，其特征在于，该载台内部限定出中心气体通道，并以该中心气体通道为中心向外间隔限定出多个环形气体通道，相邻两个环形气体通道之间不连通，在所述载台的中心气体通道上方的上表面均布有连通所述中心气体通道的气孔一，在所述载台的每个所述环形气体通道上方的上表面环形阵列布置有连通所述环形气体通道的气孔二；所述中心气体通道通过主气体管路接氦质谱检漏仪的进气口，所述主气体管路上连接有主气压阀；每个所述环形气体通道均连接有支气体管路，并通过该支气体管路连接至所述主气压阀与所述氦质谱检漏仪之间的所述主气体管路上，每个所述支气体管路上均连接有分气压阀；或者该载台内部限定出中心气体通道，并以该中心气体通道为中心向外限定出螺旋形气体通道，所述载台中心气体通道上方的上表面均布有连通中心气体通道的气孔一，所述载台螺旋形气体通道上方的上表面开设有螺旋形排列的气孔三；所述中心气体通道通过主气体管路接氦质谱检漏仪的进气口，所述主气体管路上连接有主气压阀；所述螺旋形气体通道内部由的多个竖直设置隔板分割成多个独立且密封的子气体通道，每个所述子气体通道均连接有支气体管路，并通过该支气体管路连接至主气压阀与氦质谱检漏仪之间的主气体管路，每个所述支气体管路上均连接有分气压阀。
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权利要求：
百度查询： 江苏集芯先进材料有限公司 晶片载台及工作平台
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