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申请/专利权人：佳能特机株式会社
摘要：本发明提供一种即使基板产生挠曲，也能够可靠地测定设置在基板上的对准用的标记的位置的对准装置及方法、成膜装置及方法和电子器件的制造方法。对准装置的特征在于，具备：照相机本体41，拍摄设置在基板10上的对准用的具有遮光性的基板用的标记10m；以及反射体，隔着基板10配置在与照相机本体41相反侧，照相机本体41使用来自上述反射体的反射光L拍摄基板用的标记10m。
主权项：1.一种对准装置，进行具有透光性的基板与吸附所述基板的吸附构件的对位，其特征在于，所述对准装置具备：照相机，对设置于所述基板的对准用的具有遮光性的基板用标记进行拍摄；以及反射体，隔着所述基板配置在与所述照相机相反侧，所述照相机使用来自所述反射体的反射光对所述基板用标记进行拍摄。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 佳能特机株式会社 对准装置及方法、成膜装置及方法和电子器件的制造方法
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