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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第十三研究所
摘要：本实用新型涉及半导体晶片制备技术领域，公开了一种半导体晶片甩干装置，包括第一旋转模块、第二旋转模块、第三旋转模块、第四旋转模块、托盘和托盘轴，所述托盘上分布着4组上下贯穿的轨道，并通过第一固定栓和第二固定栓将托盘与托盘轴之间相连接并固定，所述托盘轴上端外部设置有上齿轮，所述托盘轴靠中间位置的外部设置有下齿轮。本实用新型中，可以通过旋转托盘轴上的上齿轮和下齿轮，以调节晶片支柱到托盘圆心的距离，解决了在同一台单片甩干机上进行不同尺寸、不同形状的多类型晶片甩干问题，获得了良好的通用性，缩减了工艺研发成本和设备成本，增加了非标晶片的加工适用性。
主权项：1.一种半导体晶片甩干装置，包括第一旋转模块（1）、第二旋转模块（2）、第三旋转模块（3）、第四旋转模块（4）、托盘（9）和托盘轴（10），其特征在于：所述托盘（9）上分布着4组上下贯穿的轨道（5），并通过第一固定栓（11-1）和第二固定栓（11-2）将托盘（9）与托盘轴（10）之间相连接并固定，所述托盘轴（10）上端外部设置有上齿轮（8），所述托盘轴（10）靠中间位置的外部设置有下齿轮（7）；所述第一旋转模块（1）、第二旋转模块（2）、第三旋转模块（3）和第四旋转模块（4）的结构组成相同，以所述第二旋转模块（2）为例，其由晶片支柱（2-1）、固定螺帽（2-2）、旋转轴（2-3）、连接块（2-4）和旋转模块齿轮（2-5）组成，所述固定螺帽（2-2）套设在晶片支柱（2-1）的上端外壁，所述晶片支柱（2-1）的底部与连接块（2-4）相连接，所述连接块（2-4）端部与旋转轴（2-3）固定连接，所述旋转轴（2-3）下端转动设置旋转模块齿轮（2-5）；所述第一旋转模块（1）和第三旋转模块（3）下端连接上齿轮（8），所述第二旋转模块（2）和第四旋转模块（4）下端连接下齿轮（7），所述第一旋转模块（1）的旋转短轴（6）长度小于第二旋转模块（2）的旋转轴（2-3）长度，其他结构则完全相同。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 中国电子科技集团公司第十三研究所 一种半导体晶片甩干装置
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