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申请/专利权人：EV集团E·索尔纳有限责任公司
摘要：本发明涉及一种方法和基板系统，用于通过照射分离层将载体基板与基板、尤其是产品基板分离。
主权项：1.一种用于将载体基板1与产品基板6分离的方法，至少具有以下步骤：i提供所述载体基板1和所述产品基板6连同布置于其之间的分离层2，其中所述分离层将所述产品基板固定在所述载体基板处，ii利用激光单元10的激光射束11照射所述分离层2，和iii将所述载体基板1与所述产品基板6分离，其特征在于，所述分离层2为无机的。
全文数据：
权利要求：
百度查询： EV集团E·索尔纳有限责任公司 用于分离载体基板的方法和基板系统
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