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一种多晶硅沉积载体硅芯搭桥装置及还原炉 

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申请/专利权人:苏州鑫晶人工智能技术研发有限公司

摘要:本实用新型公开了一种多晶硅沉积载体硅芯搭桥装置,包括设置在还原炉的底盘上的一组两个电极,所述电极上竖直安装有硅芯,两根所述硅芯顶部设置有一硅芯横梁,相同单位长度时,所述硅芯横梁的表面积相较于所述硅芯的表面积多10%‑100%。本实用新型能够缓解困扰行业内横梁及横梁下0.5m范围内硅芯放射区深度裂纹菜花珊瑚料现象。

主权项:1.一种多晶硅沉积载体硅芯搭桥装置,包括设置在还原炉的底盘上的一组两个电极,所述电极上竖直安装有硅芯,两根所述硅芯顶部设置有一硅芯横梁,其特征在于:相同单位长度时,所述硅芯横梁的表面积相较于所述硅芯的表面积多10%-100%。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 苏州鑫晶人工智能技术研发有限公司 一种多晶硅沉积载体硅芯搭桥装置及还原炉

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