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申请/专利权人：浙江大学;浙江创芯集成电路有限公司
摘要：本发明公开一种空间索引四叉树应用于版图模式识别的快速匹配方法。本发明首先获取需要匹配的模板，对模板进行解析，利用模板中最佳的一个版图图形对获取版图，进行初步匹配，得到潜在匹配区域，使用空间索引树Quadtree进行存储，大大减少了模式匹配的查询时间，最后利用模板，对潜在匹配进行精确匹配，得到和模板完全相同或相似的匹配结果。本发明与现有EDA公司的PatternMatch方法相比，匹配时间提高了95％。因此在使用版图模式匹配查找坏点版图或查找违反设计规则的版图时，本发明可以提高版图模式匹配速度，加快工艺研发进度。
主权项：1.一种空间索引四叉树应用于版图模式识别的快速匹配方法，其特征在于所述方法包括：S1：构建版图的各版图图形A0及其顶点坐标的版图图形坐标文件；S2：识别最佳匹配版图图形：在模板文件中识别出与查询窗口Q区域尺寸最匹配的版图图形，记为最佳匹配版图图形B1；S3：初步匹配与潜在匹配区域确定：利用最佳匹配版图图形B1对版图图形坐标文件进行初步匹配，根据查询窗口Q的区域尺寸，确定潜在匹配区域；S4：根据Quadtree空间索引规则，将潜在匹配区域作为节点，构建Quadtree树；S5：遍历版图图形：根据Quadtree树的各节点，遍历一次晶圆版图的所有版图图形A0，筛选出和Quadtree树有交叠的版图图形A2，并将这些版图图形A2存入潜在匹配区域对应列表L；S6：切边操作：对列表中的版图图形进行切边，保留与潜在匹配区域有交集的部分；S7：验证与匹配完成：通过对版图图形C的校正顶点坐标并验证，确定匹配成功或失败的区域，并据此获得匹配成功的区域坐标。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 浙江大学 浙江创芯集成电路有限公司 一种空间索引四叉树应用于版图模式识别的快速匹配方法
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