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申请/专利权人：东方晶源微电子科技(北京)股份有限公司

摘要：本发明涉及光刻机技术领域，特别涉及一种二次成像版图拆分方法、系统及存储介质，包括以下步骤：获取原始版图，原始版图中具有多个图形，图形中包括多个实例，多个实例之间的距离大于或等于第一预设距离；将图形中每种类型单元中的一实例作为代表实例，对每种类型单元的代表实例进行拆分得到预设阈值数量的版图，将代表实例拆分后得到的版图置于相同单元的所有实例处；计算两者之间的翻转系数，并基于第一预设规则对图形中实例进行翻转；对图形中所有翻转系数进行求和得到翻转系数之和，并判断翻转系数之后是否符合预设阈值范围，循环上述步骤直到翻转系数之和满足预设阈值范围，从而使得图形的平衡密度更加均匀，拆分效果也更好，解决现有拆分效率较低的问题。

主权项：1.一种二次成像版图拆分方法，其特征在于：包括以下步骤：获取原始版图，原始版图中具有多个图形，图形中包括多个实例，多个实例之间的距离大于或等于第一预设距离，其中多个实例在图形中的位置不同，且属于相同类型或不同类型单元；将图形中每种类型单元的一实例作为代表实例，对每种类型单元的代表实例均进行拆分得到预设阈值数量的版图，且版图中边与边之间的距离大于或等于第二预设距离，将每种类型单元的代表实例拆分得到的版图置于属于相同类型单元的所有实例处，得到图形中的所有实例均拆分为版图；基于图形中所有的实例均拆分为版图，对图形中每个实例进行迭代，获取每个实例拆分后得到的版图和每个实例的相邻实例拆分后得到的版图，基于每个实例拆分后得到的版图和相邻实例拆分后得到的版图，计算两者之间的翻转系数；基于每个实例拆分后得到的版图及相邻的实例拆分后得到的版图之间的翻转系数，对原始版图图形中所有翻转系数进行求和得到翻转系数之和，判断翻转系数之和是否符合预设阈值范围，循环上述步骤直到翻转系数之和满足预设阈值范围；其中，计算两者之间的翻转系数具体包括：基于图形中所有的实例拆分得到的版图，以当前图形中每一个实例拆分得到的版图为中心，获取该版图在第三预设距离内相邻的实例拆分得到的版图；计算当前图形中每一个实例拆分后得到的版图与相邻的实例拆分后得到的版图的关系值，并基于关系值得到当前图形中每一个实例与其相邻的实例的翻转系数；所述翻转系数的公式为：cost＝t*d； cij＝∑A∈i∑B∈jfactorA,B∑cost；其中，cij为翻转系数，cost为关系值，t为两两对边之间无阻挡部分的投影长度，d为投影间距离，L为第三预设距离。

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