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申请/专利权人：西南大学;深圳森丰真空镀膜有限公司
摘要：本发明涉及表面防腐涂层技术领域，具体公开了一种AlNSiSiNAlSiNAlNAl多层梯度结构涂层的制备方法和涂层，包括在基底表面依次沉积Al层、AlN层、AlSiN层、SiN层、Si层以及AlN层的步骤，还包括在沉积所述AlN层和或所述AlSiN层的步骤之前，分别进行晶体生长调控处理的步骤。本发明提供的制备方法及涂层，形成了Al、Si元素双相梯度多层结构涂层，元素的梯度效应可以弱化腐蚀电荷的传输动力，提升涂层的耐腐蚀性能，同时采用晶体生长调控处理，抑制了AlSiNAlNAl层间的连续柱状生长缺陷，非连续生长结构封堵了腐蚀离子的渗入路径，进而极大提升了涂层的防腐性能。
主权项：1.一种AlNSiSiNAlSiNAlNAl多层梯度结构涂层的制备方法，其特征在于，包括在基底表面依次沉积Al层、第一AlN层、AlSiN层、SiN层、Si层以及第二AlN层的步骤，还包括在沉积所述第一AlN层和所述AlSiN层的步骤之前，进行晶体生长调控处理的步骤；其中，沉积所述第一AlN层之前的晶体生长调控处理的步骤，包括将所述基底上沉积的所述Al层在含氧气氛中进行暴露处理或在含氧气氛中进行氧离子轰击处理中的至少一种；和，沉积所述AlSiN层之前的晶体生长调控处理的步骤，包括将所述基底上沉积的AlNAl层在含氧气氛中进行暴露处理或在含氧气氛中进行氧离子轰击处理中的至少一种；所述晶体生长调控处理的温度为室温至300℃，所述晶体生长调控处理使得所述第一AlN层和Al层之间为非连续柱状生长；和，所述AlSiN层和第一AlN层之间为非连续柱状生长。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西南大学 深圳森丰真空镀膜有限公司 一种AlN/Si/SiN/AlSiN/AlN/Al多层梯度结构涂层的制备方法及涂层
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