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申请/专利权人：苏州六九新材料科技有限公司
摘要：本发明涉及物理气相沉积纳米复合涂层技术领域。具体地，本发明涉及CrmNTixAlyNAlaCrbSicVdNe纳米复合涂层及其制备方法。本发明还涉及包含所述CrmNTixAlyNAlaCrbSicVdNe纳米复合涂层的工具。通过本发明的方法制备的CrmNTixAlyNAlaCrbSicVdNe纳米复合涂层综合性地利用了AlaCrbSicVdNe层的高耐磨性和热稳定性、TixAlyN层的优秀的硬度和韧性以及CrmN过渡层的高附着力等特点，从而使得本发明的纳米复合涂层在具备较好的硬度、结合力和韧性等综合力学性能的同时还能兼顾优异的润滑性能。
主权项：1.一种结合于基体表面上的CrmNTixAlyNAlaCrbSicVdNe纳米复合涂层，其特征在于，该纳米复合涂层包含沉积于所述基体表面上的CrmN过渡层，和沉积于所述CrmN过渡层表面上的具有一个或多个周期性结构的TixAlyNAlaCrbSicVdNe复合多层，其中所述TixAlyNAlaCrbSicVdNe复合多层的一个周期包含内层的TixAlyN层和外层的AlaCrbSicVdNe层，其中m＝0.99-1.01；x＝0.29-0.31，y＝0.69-0.71，且x+y＝1；a＝0.20-0.25；b＝0.13-0.17；c＝0.05-0.10；d＝0.05-0.10，e＝0.40-0.50，且a+b+c+d+e＝1。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州六九新材料科技有限公司 CrmN/TixAlyN/AlaCrbSicVdNe纳米复合涂层及其制备方法和包含其的工具
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