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申请/专利权人：株式会社迪思科
摘要：提供激光加工装置，其在照射激光光线而实施激光加工时能够以适当的光斑间隔进行加工。激光加工装置包含：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；激光光线照射单元，其将脉冲激光光线的光斑定位于该卡盘工作台所保持的被加工物，照射脉冲激光光线而对被加工物实施加工；以及控制单元，其对该激光光线照射单元的动作进行控制。该激光光线照射单元包含：激光振荡器，其振荡出脉冲激光并射出脉冲激光光线；间疏部，其对脉冲激光光线进行间疏，调整重复频率；扫描器，其以规定的间隔扫描脉冲激光光线的光斑；以及fθ透镜，其对脉冲激光光线进行会聚。
主权项：1.一种激光加工装置，其中，该激光加工装置具有：卡盘工作台，其对被加工物进行保持；激光光线照射单元，其将脉冲激光光线的光斑定位于该卡盘工作台所保持的该被加工物，照射该脉冲激光光线而对该被加工物实施加工；以及控制单元，其对该激光光线照射单元的动作进行控制，该激光光线照射单元包含：激光振荡器，其振荡出脉冲激光并射出该脉冲激光光线；间疏部，其对该脉冲激光光线进行间疏，调整该脉冲激光光线的重复频率；扫描器，其以规定的间隔扫描该脉冲激光光线的光斑；以及fθ透镜，其对该脉冲激光光线进行会聚，该控制单元按照该扫描器的动作频率在规定的容许值内动作的方式，使所述间疏部动作而对所述激光振荡器射出的该脉冲激光光线进行间疏，调整从所述间疏部输出的该脉冲激光光线的重复频率，所述激光光线照射单元还包含调整表，该调整表中设定有与通过该间疏部对该脉冲激光光线进行间疏调整后的重复频率对应的适当的脉冲能量，该间疏部由声光元件构成，对从该激光振荡器射出的该脉冲激光光线的重复频率进行调整，并且根据与设定在该调整表中的重复频率对应的脉冲能量，对向该激光光线照射单元指示的脉冲能量进行调整，使从该激光振荡器射出的该脉冲激光光线成为重复频率和脉冲能量进行了调整的脉冲激光光线。
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