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申请/专利权人：大连地拓精密科技股份有限公司

摘要：本发明提供一种基于Stewart构型的超低频隔振平台，包括底座、隔振腿和顶板，所述隔振腿为六根，且每相邻两个所述隔振腿均以相互垂直的方式与顶板底部、底座顶部通过球铰相连接，所述隔振腿包括推杆、横板、第一金属弹簧和底板，所述推杆与套管之间安装有直线轴承，所述底板底部中间垂直安装有支杆，所述推杆底部安装有加速度传感器，所述顶板底部还安装有位置传感器，所述底座顶部还安装有控制器。本发明系统可以实现0.1Hz~300Hz大范围的振动控制，隔振带较宽，可以实现六个自由度隔振，定位精确，适用范围广。

主权项：1.一种基于Stewart构型的超低频隔振平台，包括底座、隔振腿和顶板，其特征在于，所述隔振腿为六根，且每相邻两个所述隔振腿均以相互垂直的方式与顶板底部、底座顶部通过球铰相连接，所述隔振腿包括推杆、横板、第一金属弹簧和底板，所述推杆垂直穿过横板中心与横板焊接固定，所述横板底部左右两侧与底板顶部之间分别垂直连接第一金属弹簧，所述推杆下部套装有套管，所述套管外侧垂直套装有隔磁板，所述隔磁板顶部左右两侧与横板底部之间垂直连接有第二金属弹簧，所述隔磁板顶部、套管外围安装有呈圆环形的第一永磁体，所述横板底部、推杆外围与第一永磁体垂直对应位置安装有呈圆环形的第一电磁线圈，所述隔磁板底部左右两侧与底板之间垂直连接有第三金属弹簧，所述套管底部通过滚珠螺母安装有滚珠丝杠，所述滚珠丝杠底部与底板中心通过轴承连接，所述所述底板顶部、滚珠丝杠外围安装有呈圆环形的第二永磁体，所述隔磁板底部、套管外围安装有呈圆环形的第二电磁线圈，所述滚珠丝杠外侧、第二永磁体与第二电磁线圈之间安装有呈圆形结构的铜板，所述推杆与套管之间安装有直线轴承，所述底板底部中间垂直安装有支杆，所述推杆底部安装有加速度传感器，所述顶板底部还安装有位置传感器，所述底座顶部还安装有控制器；精密仪器安装在顶板上，精密仪器的重量主要由隔振腿的第一金属弹簧承载；精密仪器产生振动，通过位置传感器和加速度传感器采集顶板振动信号，然后将振动信号传递给控制器；高频振源时，第二金属弹簧与第三金属弹簧组成串联隔振系统，串联隔振系统与第一金属弹簧形成并联隔振系统对高频振源进行初步减振，同时隔磁板的移动会带动滚珠丝杠螺母的移动，从而使得滚珠丝杠转动，此时将垂向振动转换成旋转运动，铜板随滚珠丝杠旋转，由于第二永磁体与第二电磁线圈之间存在垂向磁场，当铜板在垂向磁场中旋转运动时会产生电涡流，电涡流激发的磁场与垂向磁场相反，从而产生阻尼作用，达到进一步的减振效果，且通过控制器可以控制第二电磁线圈的电流大小从而控制垂向磁场的大小进而调整电涡流的阻尼大小，调整其减振性能；低频振源时，通过控制器控制第一电磁线圈的电流大小从而控制其与第一永磁体之间的磁场大小实现电磁驱动减振。

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