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申请/专利权人：北京瑞邦精控科技有限公司
摘要：本发明公开了一种超精密电火花加工用运动台，包括：支架模块，其包括水平设置的水平基座和龙门型支架；X轴运动模块，其包括X轴基座和沿X轴方向往复运动的X轴滑台组件；Y轴运动模块，其包括Y轴基座和沿Y轴方向运动的Y轴滑台组件，所述Y轴滑台组件上设有工作液槽；Z轴运动模块，其包括Z轴基座和沿Z轴方向往复运动的Z轴滑台组件，所述Z轴滑台组件上设有伸入所述工作液槽内的电火花头；其中，所述X轴基座上设有一对X轴气浮导轨，X轴滑台组件上设有与一对X轴气浮导轨适配的一对X轴气浮块组。本发明提高了电火花加工用运动台的加工精度、系统刚性及稳定性，使得电火花加工工艺可以应用到高性能材料超精密加工中。
主权项：1.超精密电火花加工用运动台，其特征在于，包括：支架模块，其包括水平设置的水平基座和设置在水平基座端部的龙门支架；X轴运动模块，其包括设置在所述水平基座上的X轴基座、架设在所述X轴基座外侧的X轴滑台组件以及驱动所述X轴滑台组件沿X轴方向往复运动的X轴直线驱动组件；Y轴运动模块，其包括设置在所述X轴滑台组件上的Y轴基座，架设在所述Y轴基座外侧的Y轴滑台组件以及驱动所述Y轴滑台组件沿Y轴方向往复运动的Y轴直线驱动组件，所述Y轴滑台组件上设有工作液槽；Z轴运动模块，其包括设置在所述龙门支架的横梁上的Z轴基座，架设在所述Z轴基座外侧的Z轴滑台组件、驱动所述Z轴滑动组件沿Z轴方向往复运动的Z轴直线驱动组件以及平衡Z轴滑台组件及负载重力的一对气缸组件，所述Z轴滑台组件上倒立侧挂有气浮转台，所述气浮转台的旋转台面上设有伸入所述工作液槽内的电火花头；其中，所述X轴基座上沿X轴方向设有一对X轴气浮导轨，所述X轴滑台组件上设有与一对X轴气浮导轨适配的一对X轴气浮块组，任一X轴气浮块组包括正对所在侧X轴气浮导轨顶部设置的第一气浮块和正对所在侧X轴气浮导轨外侧面设置的第二气浮块。
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权利要求：
百度查询： 北京瑞邦精控科技有限公司 超精密电火花加工用运动台
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