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申请/专利权人:张家港富瑞深冷科技有限公司
摘要:本发明公开了真空堵头更换方法,方法如下:(1)准备堵头更换拉杆装置、真空插板阀;(2)将阀管与真空设备上的抽空口对接,然后将阀管与更换管对接,抽真空管与抽真空机组对接,开启真空插板阀;(3)启动抽真空机组,将拧转头插入真空堵头中并拧转,使真空堵头卸下,接着提拉第一拉杆,在真空堵头被移送更换管中后,关闭真空插板阀和抽真空机组;(4)拆下堵头更换拉杆装置,将拧转头上的旧真空堵头更换为新的,接着将堵头更换拉杆装置装回,启动抽真空机组,开启真空插板阀,将新真空堵头插入至抽空口中并拧转,使新真空堵头能被旋紧,接着提拉第一拉杆,关闭抽真空机组。上述的更换方法无需真空设备停止运行、无需破坏真空设备中真空。
主权项:1.真空堵头更换方法,其特征在于:方法步骤如下:(1)准备堵头更换拉杆装置、真空插板阀、抽真空机组,堵头更换拉杆装置的结构包括:更换管,在更换管的一侧上设置有与之相连通的抽真空管,在更换管的上端上设置有第一拉杆座,在第一拉杆座中活动穿设有一根第一拉杆,第一拉杆座和第一拉杆之间相密封,第一拉杆的上端向上伸出第一拉杆座,第一拉杆的下端伸入至更换管中,在第一拉杆的下端上设置有能插入至真空堵头顶端的拧转槽中的拧转头,在拧转头的侧壁上嵌设有弹性圈,弹性圈套装于拧转头上;真空插板阀的结构包括:阀体,在阀体上设置有阀管,在阀体中活动穿设有一块闸板,在阀体的一端上设置有第二拉杆座,在第二拉杆座中活动穿设有一个第二拉杆,第二拉杆座和第二拉杆之间相密封,第二拉杆的外端伸出第二拉杆座,第二拉杆的内端伸入至阀体中与闸板相连接,通过推拉第二拉杆能驱动闸板内外移动,驱动闸板向内移动后,闸板能横向插入阀管中而截断阀管,使得真空插板阀关闭,反之,驱动闸板向外移动离开阀管后真空插板阀开启,在闸板的两个端面上分别嵌设有端面密封圈,闸板截断阀管时,两个端面上的端面密封圈能对闸板和阀管之间进行密封;(2)将真空插板阀的阀管下端口与真空设备上的抽空口相对接密封,然后将真空插板阀的阀管上端口与堵头更换拉杆装置的更换管下端口相对接密封,堵头更换拉杆装置的抽真空管与抽真空机组相对接密封,真空插板阀处于开启状态;(3)启动抽真空机组对堵头更换拉杆装置的更换管、真空插板阀的阀管进行抽真空,待抽至压力低于10-2Pa时,由工人通过第一拉杆驱动拧转头插入至待更换的真空堵头的顶端拧转槽中,然后由工人拧转第一拉杆,使得待更换的真空堵头能从抽空口中卸下,接着由工人提拉第一拉杆,由于拧转头插入拧转槽中时拧转头上的弹性圈会挤卡于拧转头和拧转槽之间,使得被卸下的真空堵头能被拧转头提起,在真空堵头被移送至更换管中后,由工人通过第二拉杆驱动闸板截断阀管,使得真空插板阀关闭,接着关闭抽真空机组;(4)由工人拆下堵头更换拉杆装置,将拧转头上的旧的真空堵头更换为新的真空堵头,接着由工人将堵头更换拉杆装置的更换管下端口与真空插板阀的阀管上端口重新对接密封,然后启动抽真空机组对堵头更换拉杆装置的更换管进行抽真空,待抽至压力低于10-2Pa后,由工人通过第二拉杆驱动闸板离开阀管而开启真空插板阀,接着由工人通过第一拉杆驱动拧转头带着新的真空堵头插入至真空设备的抽空口中,然后由工人拧转第一拉杆,使得新的真空堵头能被旋紧密封于抽空口中,接着由工人提拉第一拉杆,使得拧转头和新的真空堵头相脱离,最后关闭抽真空机组,由工人将堵头更换拉杆装置、真空插板阀从真空设备的抽空口上拆下,此时真空堵头更换完毕。
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