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申请/专利权人：国鲸科技(广东横琴粤澳深度合作区)有限公司

摘要：本发明提供一种用于有机电致发光元件的基质材料均匀检测方法，属于材料检测技术领域，包括对待检测有机电致发光元件的基质材料进行扫描确定第一结果；基于待检测有机电致发光元件的基质材料的尺寸确定第一分区，基于第一分区、第一结果分别确定第二分区、第三分区；基于第三分区对有机电致发光元件的基质材料的进行检测确定第二结果；基于第一结果、第二结果生成待检测有机电致发光元件的基质材料的检测报告。可以对有机电致发光元件的基质材料进行合理、精准的区域划分，提升检测精度和检测全面性，提升检测结果在厚度、表面平整度、光学透明度和电学性能方面的准确性，提高有机电致发光元件的质量和可靠性。

主权项：1.一种用于有机电致发光元件的基质材料均匀检测方法，其特征在于，包括：101：对待检测有机电致发光元件的基质材料进行扫描确定第一结果；102：基于待检测有机电致发光元件的基质材料的尺寸确定第一分区，基于第一分区、第一结果分别确定第二分区、第三分区；103：基于第三分区对有机电致发光元件的基质材料的进行检测确定第二结果；104：基于第一结果、第二结果生成待检测有机电致发光元件的基质材料的检测报告；其中，对待检测有机电致发光元件的基质材料进行扫描确定第一结果，包括：将清洗后的待检测有机电致发光元件的基质材料放置在原子力显微镜检测台，并设置检测模式、第一检测参数；调整并启动AFM探针，逐步扫描待检测有机电致发光元件的基质材料表面，确定第一扫描结果；基于待检测有机电致发光元件的基质材料选取第一区域，调整第一检测参数，将探针定位在第一区域进行局部扫描，记录第一区域内所有位置的表面高度数据确定第二扫描结果；基于第一扫描结果以及第二扫描结果生成待检测有机电致发光元件的基质材料的表面形貌图；选取表面形貌图中心位置的高度作为参考高度，计算表面形貌图中除中心位置外每个位置的高度与参考高度的差，确定表面形貌图所有位置的厚度值，生成厚度分布图；分析表面形貌图计算待检测有机电致发光元件的基质材料的所有位置的粗糙值，生成粗糙分布图；基于表面形貌图、厚度分布图以及粗糙分布图确定第一结果；其中，基于待检测有机电致发光元件的基质材料的尺寸确定第一分区，包括：基于待检测有机电致发光元件的基质材料的尺寸进行网格划分确定第一分区，其中，第一分区包括若干个第一子分区；在表面形貌图上绘制网格划分后第一分区的第一分区线；基于厚度分布图的第一分区中所有位置的厚度值，计算第一分区的综合厚度平均值、综合厚度标准差以及每个第一子分区的平均厚度值、厚度标准差，同时，基于粗糙分布图的第一分区中所有位置的粗糙值，计算第一分区的综合平整平均值、综合平整标准差以及每个第一子分区的平均平整值、平整标准差；基于第一分区的综合厚度平均值、综合厚度标准差确定待检测有机电致发光元件的基质材料的厚度范围，同时，基于第一分区的综合平整平均值、综合平整标准差确定待检测有机电致发光元件的基质材料的平整范围；其中，基于第一分区、第一结果分别确定第二分区、第三分区，包括：若第一子分区的平均厚度值在厚度范围内，则确定所述第一子分区为第二子分区，对第二子分区对应的第一子分区进行标记，记录所述第二子分区的调整次数为0；若第一子分区的平均厚度值不在厚度范围内，且第一子分区的每个相邻第一子分区对应的平均厚度值都在厚度范围内，则确定平均厚度值不在厚度范围的第一子分区的相邻第一子分区为第一调整分区，基于平均厚度值不在厚度范围的第一子分区和对应的第一调整分区进行第一调整，并计算平均厚度值不在厚度范围的第一子分区基于第一调整分区的调整厚度值； 其中，表示第i1个平均厚度值不在厚度范围的第一子分区基于对应的第一调整分区的调整厚度值，表示第i1个平均厚度值不在厚度范围的第一子分区的平均厚度值，表示厚度范围中的厚度上限，表示厚度范围中的厚度下限、分别表示第i1个平均厚度值不在厚度范围的第一子分区的第1个第一调整分区、第Ni1个第一调整分区的平均厚度值，Ni1表示第i1个平均厚度值不在厚度范围的第一子分区的第一调整分区，表示第一分区的综合厚度标准差，分别表示第i1个平均厚度值不在厚度范围的第一子分区、第i1个平均厚度值不在厚度范围的第一子分区的第一调整分区的厚度标准差，表示第i1个平均厚度值不在厚度范围的第一子分区的第一调整参数；若第一子分区的平均厚度值不在厚度范围内，且第一子分区的相邻第一子分区对应的平均厚度值至少有一个不在厚度范围内；则选取平均厚度值不在厚度范围内的第一子分区的所有相邻第一子分区中，平均厚度值不在厚度范围内的相邻第一子分区作为第二调整分区，基于平均厚度值不在厚度范围内的第一子分区和对应的第二调整分区进行第二调整，计算平均厚度值不在厚度范围内的第一子分区的基于对应的第二调整分区的调整厚度值；若调整后的第一子分区基于对应的第一调整分区或第二调整分区的调整厚度值在厚度范围内，则确定调整后的第一子分区为第二子分区，并对调整后的第一子分区及对应的第一调整分区或第二调整分区进行标记，记录对应的第二子分区的调整次数为1；若调整后的第一子分区基于对应的第一调整分区或第二调整分区的调整厚度值不在厚度范围内，则确定第一子分区的第三调整分区，进行第三调整确保基于第三调整分区的调整厚度值在厚度范围内，确定调整后的第一子分区为第二子分区，在第一分区中对所述第一子分区、第一子分区的第三调整分区进行标记，记录所述第二子分区的调整次数为2；基于所有第二子分区确定第二分区，基于第一调整、第二调整以及第三调整修改表面形貌图上第一分区的第一分区线确定基于第二分区的第二分区线。

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