龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：金阳(泉州)新能源科技有限公司
摘要：本发明属于设备清洁技术领域，具体涉及一种多腔室串联结构的PECVD设备及其清洁控制方法，多腔室串联结构的PECVD设备包括非晶层工艺腔室、半导体层工艺腔室以及多个依次设置的减反层工艺腔室，该清洁控制方法通过将多个减反层工艺腔室按照顺序对不同工艺腔依次轮流进行待机清洁，大幅提高非晶层、半导体层与减反层的在线清洁的匹配度，并且整个减反层工艺腔室也无需全部停机清洁，从而提升整个PECVD设备的利用率，有利于降低设备成本。
主权项：1.一种多腔室串联结构的PECVD设备的清洁控制方法，所述多腔室串联结构的PECVD设备包括非晶层工艺腔室、半导体层工艺腔室以及N个依次设置的减反层工艺腔室，N为大于2的整数，其特征在于，所述的清洁控制方法包括：S100，将N个减反层工艺腔室的沉积厚度重置清零；S200，控制任意一个减反层工艺腔室待机，且将该减反层工艺腔室设定为当前腔室，其余的N-1个减反层工艺腔室按照清洁循环膜厚Tc同步沉积减反层；S300，以步骤S200中的当前腔室为基准，按照减反层工艺腔室的排布顺序依次对后续的各减反层工艺腔室进行循环待机清洁，同时其余的N-1个减反层工艺腔室按照清洁循环膜厚Tc同步沉积减反层；其中，各减反层工艺腔室最大累积膜厚Ta与清洁循环膜厚Tc满足公式：Ta=Tc*（N-1），当第N个减反层工艺腔室的沉积厚度达到最大累积膜厚时，则下一阶段沉积减反层的过程中必须对该减反层工艺腔室进行待机清洁。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 金阳(泉州)新能源科技有限公司 一种多腔室串联结构的PECVD设备及其清洁控制方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号