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申请/专利权人：湖南红太阳光电科技有限公司
摘要：本发明公开了一种PECVD设备放电异常的时间补偿方法及系统，方法包括步骤：淀积开始后，判断是否有电弧产生；当采集一个Ton里,有电弧的产生且TarcTon≤a％时，在Blinkon周期的最后补偿上因灭弧损失的舟波数；当采集到一个Ton里a％TarcTonb％，通过整体淀积步补时来补偿能量损失；当采集到一个Ton里TarcTon≥b％，在记录Tarc的同时把计数器n加1；当在一个淀积步内计数器达到淀积步的blink周期数的m％时，停止工艺；其中ba。本发有具有原理简单、操作简便、自动化程度高、检测精度高、处理效果好等优点。
主权项：1.一种PECVD设备放电异常的时间补偿方法，其特征在于，包括步骤：淀积开始后，判断是否有电弧产生；当采集一个Ton里,有电弧的产生且TarcTon≤a％时，采用Blink周期内补偿的方式，在Blinkon周期的最后补偿上因灭弧损失的舟波数；当采集到一个Ton里a％TarcTonb％，基本判定为轻微接触问题导致，通过整体淀积步补时来补偿能量损失；当采集到一个Ton里TarcTon≥b％，在记录Tarc的同时把计数器n加1；当在一个淀积步内计数器达到淀积步的blink周期数的m％时，关闭电源,停止工艺；其中TBlink：Blink模式周期，Blink周期内打开时间和关闭时间的和；Tarc：Blink周期内电源的灭弧关闭时间；Ton：Blink周期内电源的打开时间；Toff：Blink周期内电源的关闭时间；其中ba。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南红太阳光电科技有限公司 一种PECVD设备放电异常的时间补偿方法及系统
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