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一种晶圆电荷量控制方法及系统 

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申请/专利权人:北京烁科中科信电子装备有限公司

摘要:本发明公开了一种晶圆电荷量控制方法及系统,控制方法包括:当晶圆放置在靶盘上时,通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷去抵消晶圆自身净电荷,从而将晶圆净电荷控制在所需要的范围内;当需要晶圆电荷整体偏正或偏负时,通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷量在预设范围内。本发明具有控制简单且控制精准等优点。

主权项:1.一种晶圆电荷量控制方法,其特征在于,当晶圆放置在靶盘上时,通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷去抵消晶圆自身净电荷,从而将晶圆净电荷控制在所需要的范围内;当需要晶圆电荷整体偏正或偏负时,通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷量在预设范围内。

全文数据:

权利要求:

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