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申请/专利权人：北京烁科中科信电子装备有限公司
摘要：本发明公开了一种晶圆电荷量控制方法及系统，控制方法包括：当晶圆放置在靶盘上时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷去抵消晶圆自身净电荷，从而将晶圆净电荷控制在所需要的范围内；当需要晶圆电荷整体偏正或偏负时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷量在预设范围内。本发明具有控制简单且控制精准等优点。
主权项：1.一种晶圆电荷量控制方法，其特征在于，当晶圆放置在靶盘上时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷去抵消晶圆自身净电荷，从而将晶圆净电荷控制在所需要的范围内；当需要晶圆电荷整体偏正或偏负时，通过调整晶圆吸力电源来控制晶圆电荷量在预设范围内。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京烁科中科信电子装备有限公司 一种晶圆电荷量控制方法及系统
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