龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：株式会社荏原制作所
摘要：本发明为膜厚测定装置、膜厚测定方法及基板研磨装置，膜厚测定装置具备：保持作为研磨对象的基板且能够使基板移动的头部件；由透明材料构成的载物台；向载物台上供给液体的液体供给部；将载物台上的液体向外部排出的液体排出部；隔着载物台配置于所述头部件的相反侧，对于隔着载物台配置的基板的表面进行光学性膜厚测定的计侧部；以及使载物台和头部件中的至少一方以接近另一方的方式移动，并且在基板的表面被液体浸湿的状态下对所述基板进行光照射而进行膜厚测定的控制部。
主权项：1.一种膜厚测定装置，在基板由能够移动的头部件保持的状态下，测定所述基板的膜厚，其特征在于，具备：载物台，该载物台由透明材料构成；液体供给部，该液体供给部向所述载物台上供给液体；液体排出部，该液体排出部将所述载物台上的液体向外部排出；计侧部，该计测部隔着所述载物台配置于所述头部件的相反侧，对于隔着所述载物台配置的所述基板的表面进行光学性膜厚测定；以及控制部，该控制部使所述载物台和所述头部件中的至少一方以接近另一方的方式移动，并且在所述基板的表面被所述液体浸湿的状态下驱动所述计测部而对所述基板进行光照射。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社荏原制作所 膜厚测定装置、膜厚测定方法及基板研磨装置
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号