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申请/专利权人：JSR株式会社
摘要：本发明提供一种放射线感度优异、且可形成介电常数低、透明性优异的硬化膜的感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、半导体元件以及显示元件。一种感放射线性组合物，含有：[A]聚合体成分，在同一分子内或不同分子内包含具有式1所表示的部分结构的第一结构单元、及具有式2所表示的部分结构的第二结构单元；以及[B]光酸产生剂，相对于聚合体成分的全部结构单元，包含5质量％～50质量％的第一结构单元，包含0.1质量％～20质量％的第二结构单元。式1中，Ar1为二价芳香环基。Y1为酸解离性基。式2中，R1、R2及R3中的一个以上为碳数1～6的烷氧基。“*”表示与碳原子键结的结合键。
主权项：1.一种感放射线性组合物，含有：[A]聚合体成分，在同一分子内或不同分子内包含具有下述式1所表示的部分结构的第一结构单元、及具有下述式2所表示的部分结构的第二结构单元；以及[B]光酸产生剂，相对于所述聚合体成分的全部结构单元，包含5质量％～50质量％的所述第一结构单元，包含0.1质量％～20质量％的所述第二结构单元， 式1中，Ar1为二价芳香环基；Y1为酸解离性基；n为0或1；“*”表示结合键；其中，在n为0的情况下，所述第一结构单元为源自具有马来酰亚胺环的单量体的结构单元，Y1与所述马来酰亚胺环的氮原子键结， 式2中，R1、R2及R3相互独立地为氢原子、卤素原子、羟基、碳数1～6的烷氧基、碳数1～10的烷基、或苯基；其中，R1、R2及R3中的一个以上为碳数1～6的烷氧基；“*”表示与碳原子键结的结合键。
全文数据：
权利要求：
百度查询： JSR株式会社 感放射线性组合物、硬化膜及其制造方法、半导体元件以及显示元件
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