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申请/专利权人：欧昊新能源电力(甘肃)有限责任公司
摘要：本发明涉及太阳能电池技术领域，尤其涉及一种优化叠层膜接触的方法。本发明公开了一种优化叠层膜接触的方法，包括如下步骤：对镀膜的腔室进行抽真空处理、利用残余气体分析仪检测腔室内的气体状态、载板进入腔室抽真空时间达到规定范围、寻找HIT电池的基础工艺参数并进行工艺气体优化和开始进行TCO镀膜，根据不同层膜的特性和需要，对基础工艺参数进行优化，主要为在O2流量的控制上进行了精细调整，确保每一层膜在镀膜过程中都能获得最佳的气体环境，进一步提升了叠层膜的质量和接触性能，通过优化叠层膜间的接触，降低了因接触差异引起的电性能波动，将整体效率提升0.05％‑0.1％，改善良率，使用本发明的方法可以生产出更多质量更好、性能更稳定的产品，从而提高了生产效率和经济效益。
主权项：1.一种优化叠层膜接触的方法，其特征在于，包括如下步骤：S1：对镀膜的腔室进行抽真空处理使用高性能的真空泵将腔室内部的空气抽出，直至腔室内的真空度达到2E—6mbar，进而形成高真空的镀膜环境；S2：利用残余气体分析仪检测腔室内的气体状态在达到S1中预定的真空度后，使用残余气体分析仪对腔室内的气体状态进行检测，判断腔室内的气体环境是否满足镀膜要求；S3：载板进入腔室抽真空时间达到规定范围将载有HIT电池的载板送入镀膜腔室内，并继续抽真空，并控制上述载板进入腔室后的抽真空时间在规定时间范围内；S4：寻找HIT电池的基础工艺参数并进行工艺气体优化在镀膜之前，寻找现有的TCO镀膜工艺参数，当基础工艺参数确定后，可以根据现有的基础工艺参数进一步的对TCO镀膜工艺中使用到的气体流量进行优化，通过改变PVD镀膜过程中氧气流量，以补偿载板表面水汽含量的变化；S5：开始进行TCO镀膜在上述优化后的工艺参数下，开始进行TCO镀膜，镀膜过程采用连续性镀膜的方式，中间不停顿。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 欧昊新能源电力(甘肃)有限责任公司 一种优化叠层膜接触的方法
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