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一种用于确认扎针痕迹的探针卡检测方法及系统 

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申请/专利权人:道格特半导体科技(江苏)有限公司

摘要:本发明公开了一种用于确认扎针痕迹的探针卡检测方法及系统,涉及探针卡检测技术领域,该方法包括以下步骤:S1、将探针卡安装至探针台上,并校准探针位置与待测焊盘位置;S2、基于预先设定的初始扎针参数,控制探针卡自动进行扎针操作,使探针逐渐接触待测焊盘表面的焊点;S3、当探针与焊点完全接触后,测量探针的电参数;S4、当完成测量后,控制探针卡离开扎针区域,并利用全息扫描组件扫描待测焊盘的表面;S5、基于虚拟焊盘模型,对扎针痕迹进行识别与分析。本发明结合自动化探针操作、电参数测量、全息扫描和图像处理等技术,实现了对扎针痕迹的全面检测与评估,确保了测试过程的准确性和可靠性,提高了生产效率和产品质量。

主权项:1.一种用于确认扎针痕迹的探针卡检测方法,其特征在于,该方法包括以下步骤:S1、将探针卡安装至探针台上,并校准探针位置与待测焊盘位置;S2、基于预先设定的初始扎针参数,控制所述探针卡自动进行扎针操作,使所述探针逐渐接触所述待测焊盘表面的焊点;S3、当所述探针与所述焊点完全接触后,测量所述探针的电参数,并基于所述电参数的变化关系,计算每个所述探针的扎针深度;S4、当完成测量后,控制所述探针卡离开扎针区域,并利用全息扫描组件扫描所述待测焊盘的表面,建立可显示扎针痕迹的虚拟焊盘模型;S5、基于所述虚拟焊盘模型,对所述扎针痕迹进行识别与分析,输出所述扎针痕迹的检测结果,以及该扎针痕迹对应的所述探针的使用报告。

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权利要求:

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