龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：强一半导体(上海)有限公司
摘要：本发明属于微电子工程技术领域，具体涉及MEMS制造过程中的一种高密度垂直探针卡探针及其加工方法。所述探针包括针体、从针体一端延伸出的针尾和从针体另一端延伸出的针尖，所述针体外表面为绝缘层，所述针尾外表面为Au镀层，所述针尖外表面为Pd‑Ni合金层。本发明提供的技术方案针尾镀金，有利于增加针卡的信号传输，减少故障率；电镀Pd‑Ni层作为阻挡层，减少探针中的铜扩散到探针表面，影响针尾镀金处的探针接触；针臂的绝缘层可大幅减少pitch距离在80μm区域的探针出现短路的现象；针尖处裸露Pd‑Ni合金层，可防止探针的Cu元素扩散至探针表面从而出现氧化等问题。
主权项：1.一种高密度垂直探针卡探针，其特征在于，包括针体、从针体一端延伸出的针尾和从针体另一端延伸出的针尖，所述针体外表面为绝缘层，所述针尾外表面为Au镀层，所述针尖外表面为Pd-Ni合金层。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 强一半导体(上海)有限公司 一种高密度垂直探针卡探针及其加工方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号