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申请/专利权人：长鑫存储技术有限公司
摘要：本公开涉及一种载台及其制备方法、原子探针层析方法，载台用于承载原子探针层析样品，载台包括芯轴、导电层及若干个共形叠置于导电层上的功能盖层；功能盖层包括在第一方向上依次共形覆盖的第一子盖层及第二子盖层；在相同的刻蚀条件下，第一子盖层的刻蚀速率大于第二子盖层的刻蚀速率第一子盖层的刻蚀速率大于第二子盖层的刻蚀速率；第一方向是从芯轴指向导电层的方向。本公开的载台可以多次重复使用，极大地降低了原子探针层析的成本。
主权项：1.一种载台，其特征在于，用于承载原子探针层析样品，所述载台包括芯轴、导电层及若干个共形叠置于所述导电层上的功能盖层；所述芯轴的顶面在参考平面的正投影位于所述参考平面的内部，所述参考平面为所述芯轴的底面；所述导电层共形覆盖于所述芯轴的外表面；以及所述功能盖层包括在第一方向上依次共形覆盖的第一子盖层及第二子盖层；在相同的刻蚀条件下，所述第一子盖层的刻蚀速率大于所述第二子盖层的刻蚀速率；所述第一方向是从所述芯轴指向所述导电层的方向。
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权利要求：
百度查询： 长鑫存储技术有限公司 载台及其制备方法、原子探针层析方法
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