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申请/专利权人：河北工业大学
摘要：本发明为一种铜碱性化学机械抛光液。该抛光液的质量百分组成为二乙醇胺0.05‑1％、磨料3‑6％、季铵化合物0.1‑2％、铜强刻蚀剂8‑13％，余量为去离子水；抛光液pH值为7.5‑10；所述的抛光液还包括质量百分比0.01‑0.5％的黄原胶。本发明可以提高含有季铵碱的碱性的铜抛光液的pH值稳定性，防止磨料分层、凝胶、颗粒直径长大，降低抛光缺陷。
主权项：1.一种铜碱性化学机械抛光液，其特征为该抛光液的质量百分组成为二乙醇胺0.05-1%、磨料3-6%、季铵化合物0.1-2%、铜强刻蚀剂8-13%，余量为去离子水；抛光液pH值为7.5-10；所述的抛光液还包括质量百分比0.01-0.5%的黄原胶；所述的季铵化合物为季铵碱或季铵盐；季铵碱的通式为R4NOH；季铵盐的通式为R4NX；X为F-、Cl-、Br-、I-、NO3-、SO42-、HSO4-或RCOO-；季铵碱具体为四甲基氢氧化铵、四乙基氢氧化铵、四丙基氢氧化铵，三甲基乙基氢氧化铵、甜菜碱或胆碱；季铵盐具体为四甲基氯化铵、四甲基溴化铵、四甲基硫酸铵、四甲基硝酸铵、四甲基醋酸铵、三甲基甘氨酸盐酸盐、胆碱碳酸盐、胆碱碳酸氢盐或胆碱盐酸盐；所述的铜强刻蚀剂为乙二胺和甘氨酸的组合物；所述的磨料为二氧化硅或硅溶胶。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 河北工业大学 一种铜碱性化学机械抛光液
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