龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：湖南普照信息材料有限公司
摘要：本发明公开了一种去除基板抛光液的清洗方法，包括：将基板进行高压水清洗，具体为，对水加压形成水射流，水射流通过弧形喷口对基板进行机械力冲洗；对高压水清洗后的基板进行刷洗，具体为，旋转基板并用毛刷对基板进行刷洗，所述毛刷在水平方向进行自转运动，且所述毛刷的旋转方向与基板的旋转方向相反；对刷洗后的基板进行冲淋，具体为，对基板正面进行热水或常温水冲淋，对基板背面进行常温水喷淋；对清洗后的基板进行干燥。通过该清洗装置及方法能避免人工擦拭去除颗粒的方式造成用力不均匀，及对衬底产生破坏性的影响；同时也能避免采用水冲或擦拭无法干燥或干燥不均匀的问题。
主权项：1.一种去除基板抛光液的清洗方法，其特征在于，包括：将基板进行高压水清洗，具体为，对水加压形成水射流，水射流通过弧形喷口对基板进行机械力冲洗；对高压水清洗后的基板进行刷洗，具体为，旋转基板并用毛刷对基板进行刷洗，所述毛刷在水平方向进行自转运动，且所述毛刷的旋转方向与基板的旋转方向相反；对刷洗后的基板进行冲淋，具体为，对基板正面进行热水或常温水冲淋，对基板背面进行常温水喷淋；对清洗后的基板进行干燥。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 湖南普照信息材料有限公司 一种去除抛光液的清洗装置及清洗方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号