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申请/专利权人：大连理工大学
摘要：本发明提供一种用于单晶金刚石化学机械抛光加工的抛光液及其制备方法，抛光液包括平均粒径为w0.25～w0.5μm的单晶金刚石微粉、质量分数为30％H2O2溶液和0.1molL～1molL的Fe2SO43溶液；三者质量比为15:5000:1～100:5000:1，抛光液ORP值为530mv～550mv。制备方法包括向单晶金刚石微粉加入H2O2溶液、震荡、将配置好的Fe2SO43溶液添入，调整其PH值至2～4，得到抛光液。本发明提供的抛光液具有较大的氧化能力和去除率，实现了金刚石的高质高效加工。
主权项：1.一种用于单晶金刚石化学机械抛光加工的抛光液的制备方法，其特征在于，由以下物质组成：平均粒径为w0.25μm的单晶金刚石微粉；质量分数为30%H2O2溶液；0.1molL的Fe2SO43溶液；将单晶金刚石微粉7.5g加入到500g的质量分数30%H2O2溶液中，均匀搅拌，并使用超声清洗器震荡清洗5分钟，将0.1molLFe2SO43溶液0.1g加入到溶液I中，用稀盐酸调节抛光液PH值为3。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大连理工大学 用于单晶金刚石化学机械抛光加工的抛光液及其制备方法
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