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申请/专利权人：郑州成越科学仪器有限公司
摘要：本发明涉及一种粉体镀膜装置，包括真空室，其内底部上设有支撑底座，支撑底座上方设有支撑顶座，支撑底座与支撑顶座之间固连有导向杆、转动连接有丝杆，导向杆和丝杆上套接有同一个滑座且该滑座与导向杆滑动套接、与丝杆螺纹套接，滑座四侧均固连有溅射靶材，支撑顶座上方的真空室内顶部上设有单轴伸电机，单轴伸电机输出轴朝下并与贯穿支撑顶座的丝杆顶端固连，单轴伸电机输出轴上固定套接有转动臂，转动臂下方的真空室内侧壁上固定套设有内齿轮，内齿轮上啮合连接有外齿轮，外齿轮的顶部与转动臂转动连接、底部同轴固定连接有搅拌轴。本发明可通过溅射靶材的运动与粉体的运动相互配合来大大提高镀膜的效率和质量。
主权项：1.一种粉体镀膜装置，包括真空室，所述真空室的顶部一端连通有带有进料阀的进料管、一侧下部连通有带有排料阀的排料管，其特征在于，所述真空室的内底部上固设有支撑底座，所述支撑底座的上方对应设有支撑顶座，所述支撑底座与支撑顶座之间固定连接有导向杆、转动连接有丝杆，所述导向杆和丝杆上套接有同一个滑座且该滑座与导向杆滑动套接、与丝杆螺纹套接，所述滑座的前后左右四侧上均固定连接有溅射靶材，所述支撑顶座上方的真空室内顶部上固设有单轴伸电机，所述单轴伸电机的输出轴朝下并与贯穿支撑顶座的丝杆顶端同轴固定连接，所述单轴伸电机的输出轴上固定套接有转动臂，所述转动臂下方的真空室内侧壁上固定套设有内齿轮，所述内齿轮上啮合连接有外齿轮，所述外齿轮的顶部与转动臂转动连接、底部同轴固定连接有搅拌轴，所述搅拌轴的内部固设有双轴伸电机、底端固设有超声波震荡器，所述双轴伸电机的两输出轴伸出搅拌轴并均同轴固定连接有盘式涡轮搅拌器，所述转动臂的底部尾端上固设有磁铁，所述磁铁对应的内齿轮顶部上固设有位置传感器，所述真空室的外壁上固设有靶电源和控制器，所述溅射靶材与靶电源电性连接，所述单轴伸电机、双轴伸电机、超声波震荡器和位置传感器均与控制器电性连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 郑州成越科学仪器有限公司 一种粉体镀膜装置
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