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申请/专利权人：内蒙古百环半导体有限公司
摘要：本实用新型涉及半导体籽晶加工技术领域，公开了半导体籽晶清洗机自烘干组件，包括柜体，柜体内设有清洗机构，清洗机构包括呈对称状分布的多组卡座，相对卡座之间设有料框，料框上部及下部均设有多组冲洗管，且每个冲洗管上均设有若干冲洗头，冲洗管一端设有冲洗管带轮，柜体顶部设有电机，电机输出端设有主带轮，主带轮相邻一侧设置有副带轮，主带轮、副带轮以及冲洗管带轮之间均通过皮带相连，冲洗管通过旋转接头连接有供水管。电机驱动主带轮转动，协同副带轮与冲洗管带轮，经由皮带传动，实现多个冲洗管的同步转动。冲洗管上搭载的诸多冲洗头，可对上下部料框内的半导体籽晶进行全面清洗，从而提升清洗效果及效率。
主权项：1.半导体籽晶清洗机自烘干组件，其特征在于：包括柜体（1），所述柜体（1）内设有清洗机构，所述清洗机构包括呈对称状分布的多组卡座（21），相对卡座（21）之间设有料框（22），所述料框（22）上部及下部均设有多组冲洗管（35），且每个所述冲洗管（35）上均设有若干冲洗头（351），所述冲洗管（35）一端设有冲洗管带轮（34），所述柜体（1）顶部设有电机（31），所述电机（31）输出端设有主带轮（32），所述主带轮（32）相邻一侧设置有副带轮（33），所述主带轮（32）、副带轮（33）以及冲洗管带轮（34）之间均通过皮带（37）相连，所述冲洗管（35）通过旋转接头连接有供水管。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 内蒙古百环半导体有限公司 半导体籽晶清洗机自烘干组件
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