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申请/专利权人：弘元新材料(徐州)有限公司
摘要：本实用新型公开了一种硅片清洗机烘箱密封结构，属于硅片清洗技术领域，针对了烘箱密封性较差而导致良率降低的问题，包括烘箱本体，所述烘箱本体底部四角固定连接有支撑腿，所述烘箱本体内设置有放置槽，所述放置槽两端设置有风循环滤网，所述风循环滤网上设置有第一螺纹杆并固定连接于烘箱本体内部，所述第一螺纹杆端部于风循环滤网外侧螺纹连接有螺母，所述风循环滤网上部与风循环滤网两端缝隙处设置有密封机构，所述密封机构上部于烘箱本体内设置有加强机构；本实用新型通过设置密封机构，在烘箱本体对放置槽内硅片进行烘干时，避免风循环滤网和硅片烘干空间互通，风量被分流，影响烘干效果，从而降低因湿片导致的损失。
主权项：1.一种硅片清洗机烘箱密封结构，包括烘箱本体（1），其特征在于：所述烘箱本体（1）底部四角固定连接有支撑腿（2），所述烘箱本体（1）内设置有放置槽（102），所述放置槽（102）两端设置有风循环滤网（101），所述风循环滤网（101）上设置有第一螺纹杆（103）并固定连接于烘箱本体（1）内部，所述第一螺纹杆（103）端部于风循环滤网（101）外侧螺纹连接有螺母（104），所述风循环滤网（101）上部与风循环滤网（101）两端缝隙处设置有密封机构（3），所述密封机构（3）上部于烘箱本体（1）内设置有加强机构（4）。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 弘元新材料(徐州)有限公司 一种硅片清洗机烘箱密封结构
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