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申请/专利权人：上海普达特半导体设备有限公司;普达特半导体设备(徐州)有限公司
摘要：本实用新型提供一种晶圆暂存机构，通过槽体、提篮座及提篮的装配，可用以暂存晶圆，以有效提高晶圆加工效率，同时能够降低晶圆污染概率；呈Y状的晶圆卡槽可便于晶圆的放置；根据晶圆尺寸，可灵活替换提篮，扩大应用范围；通过调整提篮座可便捷的对提篮的位置进行调节。
主权项：1.一种晶圆暂存机构，其特征在于，所述晶圆暂存机构包括：槽体；提篮座，所述提篮座固定于所述槽体内部；提篮，所述提篮固定于所述提篮座上，所述提篮包括底部提篮梳及位于所述底部提篮梳两侧的边缘提篮梳，且所述底部提篮梳与所述边缘提篮梳上设置有匹配的晶圆卡槽，通过所述晶圆卡槽承载晶圆，且所述晶圆卡槽呈Y状。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海普达特半导体设备有限公司 普达特半导体设备(徐州)有限公司 晶圆暂存机构
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