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申请/专利权人：天虹科技股份有限公司
摘要：本实用新型涉及一种批量化基板原子层沉积装置，包括有真空腔体、轴封装置以及旋转驱动总成。真空腔体包括有前侧壁、后侧壁以及周面；前侧壁与后侧壁互相平行设置，周面连接前侧壁与后侧壁的边缘，以形成反应空间。周面的内侧设置有交错配置的多个凹部与多个凸部，多个凹部与多个凸部围绕着旋转轴向呈放射状排列，各凹部的底部是平面，且旋转轴向通过前侧壁与后侧壁。轴封装置的一端沿着旋转轴向连接于后侧壁。旋转驱动总成连接于轴封装置的另一端，以通过轴封装置连接真空腔体，并带动真空腔体沿旋转轴向转动。
主权项：1.一种批量化基板原子层沉积装置，其特征在于，包括有：真空腔体，包括有前侧壁、后侧壁以及周面；所述前侧壁与所述后侧壁互相平行设置，所述周面连接所述前侧壁与所述后侧壁的边缘，以形成反应空间；其中，所述周面的内侧设置有交错配置的多个凹部与多个凸部，所述多个凹部与所述多个凸部围绕着旋转轴向呈放射状排列，各所述凹部的底部是平面，且所述旋转轴向通过所述前侧壁与所述后侧壁；轴封装置，其一端沿着所述旋转轴向连接于所述后侧壁；以及旋转驱动总成，连接于所述轴封装置的另一端，以通过所述轴封装置连接所述真空腔体，并带动所述真空腔体沿所述旋转轴向转动。
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百度查询： 天虹科技股份有限公司 批量化基板原子层沉积装置
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