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一种晶圆搬运机器人的升降、旋转轴装置 

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申请/专利权人:东莞新友智能科技有限公司

摘要:本实用新型涉及机械臂技术领域,尤其涉及一种晶圆搬运机器人的升降、旋转轴装置;包括机架、升降机构、旋转机构、束线机构及机械臂;所述升降机构设于机架并驱动旋转机构升降;所述旋转机构包括驱动源及输出轴,所述输出轴与所述机械臂连接;所述束线机构包括内壳、外壳、下托盘、下固定件及上固定件,所述外壳套设在内壳外,所述外壳、内壳及下托盘围设成容置腔,所述上固定件设于内壳的顶部并位于容置腔内,所述下固定件设于下托盘并位于容置腔内;内壳套设在输出轴的外侧。实现机械臂在升降或旋转过程中减少对外界线管的影响,提高使用寿命及确保生产的顺畅性。

主权项:1.一种晶圆搬运机器人的升降、旋转轴装置,包括机架1,其特征在于:还包括升降机构2、旋转机构3、束线机构4及机械臂5;所述升降机构2设于机架1并驱动旋转机构3升降;所述旋转机构3包括驱动源及输出轴,所述输出轴与所述机械臂5连接;所述束线机构4包括内壳41、外壳42、下托盘43、下固定件44及上固定件45,所述下托盘43包括内环侧板、外环侧板及底板,内环侧板和外环侧板均设于底板的同侧,内环侧板与内壳41连接,底板成空心环状,内壳41呈空心柱状供输出轴穿过,外壳42包括空心盖板及外侧板,空心盖板与外侧板一体成型呈帽体状,外侧板与外环侧板通过螺丝连接件连接,内壳41、外壳42、下托盘43围设成容置腔,所述下固定件44设于下托盘43并位于容置腔内,所述上固定件45设于内壳41的顶部并位于容置腔内,外界管体100首先被下固定件44束缚再进入容置腔,外界管体100接着缠绕内壳41的外壁体,然后被上固定件45束缚,最后穿出外壳42与机械臂5连接。

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