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申请/专利权人：武汉光目科技有限公司
摘要：本发明提供了一种面阵扫频测量装置和方法，属于激光测距技术领域，装置包括可调谐激光器、第一准直器、第一扩束器、第一分束器、镜头、反射元件、相机和采集控制单元；可调谐激光器用于通过发送触发信号，控制相机采集干涉图像，并提供原始光束；第一分束器用于将经准直和扩束后的光束分为第一光束和第二光束，第一光束照射待测被测物体后反射；反射元件用于将第二光束反射形成参考光；相机用于采集第一反射光和参考光干涉形成的干涉图像。本发明取代了传统的点探测采集方式获取表面形貌，避免了点探测时引入的机械扫描误差，提升了一般视场下测量的准确度。
主权项：1.一种面阵扫频测量装置，其特征在于，包括可调谐激光器（1）、第一准直器（3）、第一扩束器（4）、第一分束器（5）、镜头（7）、反射元件（11）、相机（8）和采集控制单元；在原始光束经所述第一分束器（5）反射的方向上依次设置有所述第一分束器（5）、所述镜头（7）和所述相机（8）；在原始光束的透射方向上依次设置有所述第一准直器（3）、所述第一扩束器（4）、所述第一分束器（5）和所述反射元件（11）；所述可调谐激光器（1）的输出端与所述相机（8）的输入端相连；所述可调谐激光器（1）用于通过发送触发信号控制相机采集干涉图像，并提供原始光束；所述第一分束器（5）用于将经准直和扩束后的光束分为第一光束和第二光束，第一光束照射待测被测物体后反射，形成第一反射光；所述反射元件（11）用于将第二光束反射形成参考光；所述相机（8）用于采集第一反射光和参考光干涉形成的干涉图像；采集控制单元用于根据干涉图像分析被测物体的表面形貌；镜头（7）用于使干涉图像成像在相机（8）上；其中，所述可调谐激光器（1）输出的原始光束波长随时间变化；所述可调谐激光器（1）发出等波数间隔的触发信号。
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