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申请/专利权人：华为技术有限公司;德国弗劳恩霍夫应用研究促进协会
摘要：本发明涉及微机电系统MEMS装置。特别地，本发明提出了一种用于MEMS装置的致动器和包括这种致动器的MEMS装置。该致动器具有可连接到该MEMS装置的框架的多个边侧的第一端，并且具有，特别地，通过接头，可连接到该MEMS装置的台架的第二端。此外，该致动器的第二端被配置为当该致动器被驱动并且该第一端被连接时向上或向下弯曲。
主权项：1.一种微机电系统MEMS装置，包括：台架，围绕所述台架的框架，以及至少一个致动器，其中，所述至少一个致动器的第一端连接到所述框架的多个边侧，所述至少一个致动器的第二端通过接头连接到所述台架，并且所述致动器的第二端被配置为当所述致动器被驱动时向上或向下弯曲；设置在所述台架的顶部上的可旋转支柱；以及设置在所述可旋转支柱的顶部上的镜板，其中，所述至少一个致动器至少部分地布置在所述镜板下方。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 华为技术有限公司 德国弗劳恩霍夫应用研究促进协会 二自由度的致动器和MEMS装置
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