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一种真空镀膜装置 

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申请/专利权人:湖南玉丰真空科学技术有限公司

摘要:本发明公开了一种真空镀膜装置,涉及真空镀膜技术领域,包括:镀膜箱体,镀膜箱体的侧壁固定设置有固定管,固定管的内部滑动连接有移动管,移动管的下端管壁开设有开口,开口处滑动设置有弧形板,弧形板上均匀开设有多个抽气孔,移动管的下端内壁开设有两个限位槽,移动管的上方外侧管壁且位于其中一个限位槽的正上方位置开设有固定槽,其中一个限位槽的槽底转动连接有螺杆:解决了现有技术中移动管顺着安装管移动到镀膜箱体的内部时,在长时间的使用下,移动管的下端面会有磨损,由于抽气孔设置在移动管的下端面,会使得抽气孔的深度减小,从而影响抽气的效果的问题。

主权项:1.一种真空镀膜装置,其特征在于,包括:镀膜箱体1,镀膜箱体1的侧壁固定设置有固定管5,固定管5的内部滑动连接有移动管6,移动管6的下端管壁开设有开口,开口处滑动设置有弧形板14,弧形板14上均匀开设有多个抽气孔,移动管6的下端内壁开设有两个限位槽17,移动管6的上方外侧管壁且位于其中一个限位槽17的正上方位置开设有固定槽11,其中一个限位槽17的槽底转动连接有螺杆12,螺杆12的顶端穿过移动管6的上方管壁且处于固定槽11内部,其中一个移动块15螺纹连接在螺杆12的外部,镀膜箱体1的内部固定设置有第一电机8,第一电机8的输出轴固定连接有电动推杆9的固定端,电动推杆9的伸缩端固定连接有夹块10。

全文数据:

权利要求:

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