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申请/专利权人：同济大学
摘要：本发明公开了一种宽带MEMs光学相控阵装置及其移相方法，属于光学相控阵技术领域。其装置包括若干上层衍射层和若干下层MEMs位移驱动器，每个上层衍射层与每个下层MEMs位移驱动器连接组成一个MEMs移相单元，若干个MEMs移相单元组成的阵列构成一个光学相控阵。其移相方法为上层衍射光栅将一定角度的入射光反射到一个所需的衍射级次上；下层MEMs位移驱动器带动上层衍射光栅位移；根据光栅的位移‑相移定律，实现宽带移相器的功能；每个所述MEMs单元按特定相移需求进行位移，构成一个宽带光学相控阵装置。本发明与现有MEMs光学相控阵及移相技术相比，本发明的相位调制不随波长变化，并且调制速度能到达微秒量级，因此基于该移相器的光学相控阵在宽带应用场景下具有极大优势。
主权项：1.一种宽带MEMs光学相控阵装置，其特征在于：包括若干上层衍射层和若干下层MEMs位移驱动器，每个所述上层衍射层与每个所述下层MEMs位移驱动器集成连接组成一个MEMs移相单元，若干个所述MEMs移相单元组成的阵列构成一个光学相控阵，最大偏折角约3.3°，扫描角度为-3.3°～3.3°。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 同济大学 一种宽带MEMs光学相控阵装置及其移相方法
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