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申请/专利权人：深圳大学
摘要：本发明公开了一种硅基片上GST光开光控制激光雷达系统，特点是包括用于调控光分路的GST超快光开关模块、用于控制端面出射OPA的异质集成氮化硅波导模块、用于控制光栅出射OPA的异质集成氮化硅波导模块。本系统利用光开光模块对输入光进行可控的光分路调节，在后两个模块可以选择OPA的出射方式和扫描方式。优点是超快光开关更换激光雷达扫描方式，以及GST非互易性、可重复性、速度快、带宽大、结构简单、便于与其他系统兼容。
主权项：1.片上相变材料光开关控制光学相控阵系统，其特征在于，包括：硅基底n1、二氧化硅埋氧层n2和氮化硅层n4，二氧化硅埋氧层n2设置在硅基底n1的上表面，氮化硅层n4设置在二氧化硅埋氧层n2的上表面，相变材料异质层n3设置在二氧化硅埋氧层n2和氮化硅层n4的上表面，金属电极层n5设置在相变材料异质层n3的上表面；所述氮化硅层n4包括：用于调控光分路的光开关模块1、用于控制端面出射OPA的异质集成氮化硅波导模块2、用于控制光栅出射OPA的异质集成氮化硅波导模块3，所述系统利用光开关模块对输入光进行可控的光分路调节，在后两个模块可以选择光学相控阵的扫描方式和出射方式。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳大学 片上相变材料光开关控制光学相控阵系统及其控制方法
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